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335:降低芯片70%制造成本(1 / 1)

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nil纳米压印设备在能耗方面相比euv可以降低9%。

同时由于转换率更好研发成本更低,比euv研发成本降低6%左右,所以纳米压印也被视为目前最有可能替代euv实现7纳米以下制程的一项主流的光

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