第59章 我能解决！（2 / 3）

“怎么？有困难？”赵辉一路陪同，安慰道：

“不用急，大家都知道光刻机的难度，你这刚来，就算能解决，那也得几个月半年的时间吧？不用那么着急的！”

“行了，叫人吧，开会。”程旭也不再纠结，心里有了决定，在这儿耗着，或许还不如回去研究荷泵提升来的快捷。

“能解决！”工程师们都到齐之后，程旭咬牙切齿的说了这么一句话

“嗯？”

所有人都疑惑了，他们一进来就看到程旭凝重的表情，那意味着事情无比棘手，怎么说出了“能解决”这四个字儿呢？

而且，这语气，好像跟谁苦大愁深一样，这是能解决的样子吗？

程旭没有注意众人的表情，而是介绍起自己的发现：

“这台光刻机问题很多，首先，物镜的标准还是很高的，满足28nm光刻机绝对没有问题。

“那问题出在哪儿了呢？是内部投影物镜的温度波动！”

“随着光刻机分辨率的不断提高，集成电路芯片特征线宽逐渐缩小，温度，哦，也包括湿度和环压，这些外部环境参数的波动对成像质量的影响越来越大。

“比如，投影物镜的温度波动就会直接引起焦面位置漂移和成像畸变，这台光刻机的境况就是因此此造成的。

“越高端的光刻机对环境参数的苛刻程度就越高，深紫外duv光刻机就已经这样了，未来做极紫外euv光刻机相关要求只会更加苛刻。”

“哦呜~”所有的工程师们都瞬间松了一口气，别的不说，就程旭这判断，可以说精准无比。

要知道，他可是只要了生产过程资料和设备参数，并没有听取沪微其他的问题报告。

之前虽然相信智能手段能够解决这个问题，但任谁看到一个二十多岁的小孩儿，心里都是犯嘀咕的——这个年纪的人，即便沪微有，那也是实习生吧？

但程旭仅凭自己，一周的时间，就发现了他们光学系统问题的核心关键点。

众人的信心一下自己又回来了——至于程旭一脸凝重甚至是咬牙切齿的表情，则是被他们忽视了，那大概是他固有的面容吧。

“那怎么解决呢？”程旭接着说道：

“直接加热或者冷却是不可能的吧？利用液体循环温控回路对投影物镜温度进行远距离间接控制是惯用方案，我们这个光刻机现在就是这种方案。