第265章 提名科学技术进步奖(1 / 9)
徐昀没有让光电技术研究所的大家失望,测试出氟化氙光源的功率数据,确定它能满足极紫外光刻机的光源要求后,便立刻开始着手进行光学投影系统和掩膜这光刻机另外两大难题的研究。
最终分别持续两个小时的大脑超频,共耗费250积分顺利得出方案。
这使得他只剩下最后俩小时的超频时间。
以及30积分。
不生成出新任务的话,基本无法再开启大脑超频。
好在结果还算令人满意。
顺利解决掉这几项难题,余下小问题就算参与此项目的高校解决不了,他凭借自己现有的水平也能攻克。
无非是稍微多花点时间。
反正依靠大脑超频,已经在几项重点问题上给项目节省了很多时间。
倒不差这会。
值得一提的是,因为氟化氙光源方案的事,后面徐昀再次拿出光学投影系统和掩膜设计方案时,其他人表现的相对来说则比较镇定。
就像是早知道会有方案。
简单开了个项目会议便定下此事。
集体表决通过这两项方案,并立刻进行相关详细实验测试。
确保能满足极紫外光刻机要求。
就这样接下来几个月里,徐昀大部分时间都泡在研究所进行各种研究,偶尔还会飞到其他高校指导光刻机零部件的研究工作。
毕竟整台高端光刻机足有几十万个零部件,光解决重要的也不行。
需要保证其它小部件跟上进度,否则解决了光源投影系统和掩膜,照样无法组装出一台国产高端光刻机。
时间犹如一头倔驴,跑起来就不停。
很快进入到温度开始舒适的十月份,徐昀提出的光学投影系统和掩膜设计方案均通过各方面的测试,简单来说这相当于国产极紫外光刻机项目的进度已然完成过半只剩下后期和其它零部件的组装。
如此快的研发速度,不但刷新了光电技术研究所的最高记录。