366超越1级的洁净度!(4 / 4)
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如此干耗了几年,一直到湾积电拿出了一个取巧的解决方案:那就是在激光发出的瞬间,利用水珠进行折射,将激光的波长缩短。
起初尼康和佳能的工程师听到这个方案,都觉得这玩意儿不是扯犊子吗?
毕竟光刻机是非常精密的仪器,在里面灌入水后,没有人能保证光刻机是否还能继续运行,也就没有采纳这个方案。
凑巧风车国的asml公司一听到这个方案后如获至宝,召集了一群工程师在鼓捣出了后来著名的浸润式光刻机。
当然了,这里面还有鹰国为asml公司提供了核心技术,顺便召集了数个国家的国家级实验室参与到了浸润式光刻机的研发,这才有了后来极紫外光,俗称eua光光刻机的诞生。
而让陈决现目前感到纠结的是:“到底是采用传统的干式光刻机还是取巧的浸润式光刻机?”
好在这种纠结只持续了半分钟,在浏览完光电所提供的设计方案后,陈决就嘴里嘟囔道:“一鸟在手胜过百鸟在林!”
“直接上干式的,原理更简单,想要被仿制更不容易。”
说完陈决就五指一张,从指尖冒出的金色电光像是锁链一样,一下子罩住了面前数个大型物资箱。
伴随着电浆能量的大功率输入,以及的能力影像下,那些原本冷冰冰的电缆、镜片、金属、橡胶等材料像是活了过来一样,犹如一块块乐高积木,开始按照陈决的思路拼凑出了一台纯白色的长方体光刻机。
光刻机的原型是参照了光电所的设计方案,不过为了保险起见,陈决加强了内部的供电系统的稳定性。
而在光刻机的核心激光部件处,一块细小到连普通电子显微镜都难以看见的超微型激光镜头正在金色能量的干涉下一点点构筑了出来。
今天第一更~前面两天有事耽误了一下。
(本章完)
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