第768章 还是出事了!(3 / 7)
李云海道:“多久能解决这些难题?”
纪文姝道:“我现在不好说,难题太多,我们只能一边研究一边攻克。”
2000年以前,业界普遍认为193nm光刻无法延伸到65nm技术节点,而157nm将成为主流技术。
然而,157nm光刻技术遭遇到了来自光刻机透镜的巨大挑战。
这是由于绝大多数材料会强烈地吸收157nm的光波,只有caf2勉强可以使用。但研磨得到的caf2镜头缺陷率和像差很难控制,并且价格相当昂贵。雪上加霜的是,它的使用寿命也极短,频繁更换镜头让芯片制造业无法容忍。
有远见的科学家们,早就看到了未来光刻机的极限。
他们一直在寻求新的突破。
研究浸润式光刻机的,也不仅仅只有四海集团一家公司。
当前的主流研究方向,是基于157nm浸入式光刻。
可是遇到的难题,却让所有人止步不前。
现在,纪文姝也遇到了同样的难题。
其他科研机构,已经放弃了这个课题,转从其他方面着手研究。
但是四海集团并没有放弃。
因为李云海知道,几年以后,浸润式光刻机,肯定会被研究出来。
也就是说,总有一种办法,可以突破现在的瓶颈。
可惜,李云海前世并不是做光刻机的。
他对具体的光刻机技术,只知其一,不知其二。
听纪文姝谈及到具体的科研困难,李云海忽然想到了什么,问道:“现在的研究,是基于157nm波长?对吗?”
纪文姝道:“是的,李总,我们现在要做的,就是突破157nm波长。可是在157nm波长下,水是不透明的液体,我们很难得到想要的折射率。”
李云海用手指轻轻敲击额头,说道:“不对!不对!”