第157章 至少领先三代半?(2 / 3)
这芥子扫描显微镜,无论从最初的理论设计,再到中间关键技术的解决,都是陈阳在指导。
按照当前研究的通用规则,这个知识产权全部都应该归属陈阳所有。
最终陈阳答应了司徒静。
“那我就却之不恭了!不过,以后若是有什么事情,还请你来去完成。比如领奖,研究合作什么的。”
“好。您放心,只要不是不能解决的问题,保证不会去打扰您。”司徒静说道。
送走了司徒静!
陈阳回到办公室,再次看着手中的图纸!
薄膜机,光刻机,蚀刻机!
薄膜机相对技术含量较低,已经被突破,蚀刻机这次也已经全部突破,现在,就剩下光刻机了了!
“晶圆,光刻胶,掩膜器,净化系统……”
看着这一个个难点,像是一个个钉子,目前剩下的问题不多了,只要再拔掉这几个,就可以很顺利的解决光刻机问题!有了这芥子扫描显微镜,绝对会事半功倍!
……
与此同时,整个eva联盟,都收到了龙国已经突破刻蚀机的消息!
“怎么回事?之前不是说他们至少要三年之后才能突破吗?为什么这么快?是不是窃取了咱们的专利技术?”米国euv联盟委员会主席史蒂芬对着在场的众人问道。
“目前还没有消息出来。他们没有申请专利,而且,从我们这边得到的数据来看,并没有触犯咱们的相关专利。”
“没有侵犯?难道他们完全走出了另外一套蚀刻机技术?”
“虽然不愿意承认,但是,确实从里到外,完全是自主研发的。而且,速度,效率,良品率,都比现在的要高出很多!”山野正雄垂头丧气的说道。