第155章 图形发生器(2 / 3)
李三彪又拿来一个托其他小组研制的512K内存条,
这个内存条用上了后来复杂的印刷线路板技术,能将几十个4K内存颗粒联合使用,这下完美结局了算力问题。
李三彪又道:“其实这个图形,我已经编写了一个cAd1.0软件,并不需要一行行输代码。我帮你做个借口,你只要在平面绘出曝光图以后,可以很容易导入了!也方便进行修改!”
李三彪在电脑上一阵操作,很快根据老罗的设计,写好了一个cAd与图形发生器的接口程序。
然后,将设计组出的芯片图,按照掩膜设计要求,绘制了cAd版的掩膜图。
在cAd上画不同的颜色,代表各种曝光剂量。
当5倍光线强度的过量曝光时,会形成2微米粗的线条,就是微观的导线。
现在晶体管间距以微米计,并不代表光头每次移动也以微米计,
毕竟后来晶体管可是3纳米的间距,要真这样,那么大个的光头岂不是只能按微观世界一个个原子间距的移动了?
实际上,激光头其实就是个大功率的电子显微镜,它发出的光不仅可以成像,能量还足以刻蚀物体表面。
而电子显微镜是核心部件是电磁透镜,它用电磁原理来偏移光头产生的光束,达到类似光学透镜效果,
但控制它焦距的,其实是磁性大小,也就是产生磁力的电磁线圈里的电流大小,
所以,光头的电子束,完全可以通过电磁透镜进行拐弯,实现精确的偏转度,因而机械精度并没不需要那么高!
很多人隐隐觉得龙国机械精度不够,因而绝不可能有最精密的光刻机,这实在是太多虑了!
电子透镜的精度,其实只决定于光源的波长,跟机械精度没关系!
科技进步能用先进原理和设计方法,碾压煮饭仙人的旧工艺!
说得容易,李三彪和老罗搞定了一切,已经过了两个礼拜,终于开始正式测试了。
李三彪装入涂有光刻胶的掩膜,调节电镜,优化一番电镜参数,通过电镜控制窗口设置400微米曝光场,然后将工件台精确调整到调整到电镜下面。